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高端光學制造服務
光學檢測

國科精密擁有高精度大口徑Fizeau型干涉儀、白光干涉儀、原子力顯微鏡和配套的高精度溫控(優于±0.02℃)檢測實驗室,可提供全頻段(低頻、中頻、高頻、超高頻)深亞納米精度平球面和非球面光學表面檢測;同時也擁有Luphoscan非球面檢測儀、輪廓儀、三坐標和ASI拼接干涉儀等高性能檢測設備,可滿足各種非球面、自由曲面等異形表面的非接觸式和接觸式三維光學掃描測量、子孔徑拼接檢測等檢測需求。


檢測指標

? 平球面

n 直接檢測: 檢測口徑:平面<300mm,球面<500mm,  檢測精度<0.15nm RMS

n 拼接檢測: 檢測口徑<500mm,  檢測精度<15nm RMS

? 非球面

n 直接檢測:   檢測口徑<300mm,  檢測精度<λ/6 PV

n CGH 和補償鏡(NULL Lens):  檢測口徑<500mm, 檢測精度<0.3nm RMS

光學檢測


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